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Anhui BEQ Equipment Technology Co., Ltd
Hefei Baisi New Materials Research Institute
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迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统（型号： BTF-1200C-R-S-PECVD）
本款设备可以做金属复合石墨烯材料，是目前最高端的金属复合材料制备设备。可以用于动力电池，提升电池内阻和能量密度，有效解决新能源汽车电池的问题。
1.该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀；
2.该款设备是全自动Plasma增强CVD系统（PECVD）,系统可以实现连续滑动温区，连续可控温度以及Plasma强度等，配备真空系统，可以实现低压条件下的实验，针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。
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型号 |
BTF-1200C-S-R-PECVD |
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显示模式 |
7"液晶触屏显示 |
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最高温度 |
1200℃ |
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升温速率 |
10℃/S |
| 加热区长度 | 230mm |
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控温精度 |
±1℃ |
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加热元件 |
电阻丝 |
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热电偶 |
K型 |
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控温方式 |
7"液晶触屏与工控仪表双重控温，模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。 |
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炉管尺寸 |
Φ25*800mm |
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炉管转速 |
3~13r/min |
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倾斜角度 |
0~35° |
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加热功率 |
3KW |
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射频功率输出范围 |
0~500W |
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供气系统 |
标配三路质量流量计（50/100/200sccm） |
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供电电源 |
220V50Hz |
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通讯接口 |
USB |
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外形尺寸 |
1600mm*650mm*1400mm |
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设备净重 |
约220KG |