A delegation from the Economic Development Zone of Feixi County investigated the company's products and scientific research results
Recently, Lu Ge, member of the Standing Committee of the Feixi County Party Committee, deputy head, and first secretary of the Economic Development Zone of Feixi County, visited the company. General Manager Kong Lingjie warmly received and accompanied the inspection.
Leaders of Hefei Investment Promotion Bureau surveyed the Best R & D Center
On March 8, 2019, Zhu Shengli, deputy secretary general of the Hefei Municipal Government and director of the Investment Promotion Bureau, and his party visited the product research and development center of Best Group. Research.
Best Group 2018 Highlights
On January 30, 2019, Best Group ’s annual meeting was successfully held!
The Fifth National Energy Storage Science and Technology Conference
From October 26 to 28, 2018, the Fifth National Energy Storage Science and Technology Conference was held at Huazhong University of Science and Technology.
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双温区PECVD系统 BTF-1200C-II-PECVD/BTF-1200C-II-SL-PECVD
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双温区PECVD系统 BTF-1200C-II-PECVD/BTF-1200C-II-SL-PECVD

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特点及用途:

PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式,低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单

配有前端预加热炉,辅助固态源蒸发,后端为温区加热炉 ,温度控制精确,操作简便,对于气相沉积,二维材料,等离子处理生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。

1.与传统CVD系统比较,生长温度更低。

 2.使用滑轨炉实现快速升温和降温。

 3.设备特有的专利技术使得整管辉光均匀等效,均匀生长

 1.加热系统

最高温度

1200

使用温度

≤1100

炉膛有效尺寸

Φ50mm(炉管直径可根据实际需要定制)

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定

加热长度

200+200mm

恒温长度

100+100mm

加热原件

电阻丝

供电电源

单相,220V,50Hz

2、预热系统系统

最高温度

400

炉膛有效尺寸

Φ50mm(炉管直径可根据实际需要定制)

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定

加热长度

100mm

加热原件

电阻丝

额定功率

800W

3、PE系统

功率输出范围

0W~500W

最大反射功率

100W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷

4、三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

50sccm,100sccm500sccm

(可根据用户要求定制)

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

5、低真空机组

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃~40℃

工作电电压

280V

抽气速率

32m³/h

极限真空

5X10-1Pa(空载冷态)

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

进气口口径

KF40

排气口口径

KF40

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

 

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