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大三温区滑轨CVD系统（低真空、高真空环境均可）BTF-1200C-III-SL-4ZL
技术参数
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BTF-1200C-III-SL-4ZL |
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尺寸 |
1080×440×590mm ( 炉子)/2000×490×760mm ( 炉子+滑轨） |
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炉管尺寸 |
Ø50/Ø60/Ø80/Ø100/Ø130*2330mm(各管径可选） |
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加热区长度 |
300+300+300mm(900mm) |
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恒温区长度 |
500mm |
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工作温度 |
1100℃ |
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最高温度 |
1200摄氏度 |
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控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
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控温精度 |
±1℃ |
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推荐升温速率 |
10-20℃/min |
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额定电压 |
AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz |
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额定功率 |
7KW |
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供气系统 |
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外形尺寸 |
600x600x650mm |
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连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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标准量程（N2) |
100、200、500sccm（可根据用户要求定制） |
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准确度 |
±1.5%F.S. |
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线性 |
±0.5～1.5%F.S |
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重复精度 |
±0.2%F.S. |
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响应时间 |
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
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工作压差范围 |
0.1～0.5 MPa |
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最大压力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6,1/4'' |
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显示 |
4位数字显示 |
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工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
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内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
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压力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
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截止阀 |
Φ6 |
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低真空机组 |
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工作环境 |
5℃～40℃ |
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空气相对湿度 |
≤85% |
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工作电电压 |
220V±10% 50~60HZ |
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功率 |
1KW |
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抽气速率 |
10m³/h |
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极限真空 |
5X10-1Pa |
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工作压力范围 |
1.01325X105～1.33X10-2Pa |
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耐压值 |
0.03MPa |
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容油量 |
1.1L |
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进气口口径 |
KF25 |
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排气口口径 |
KF25 |