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Anhui BEQ Equipment Technology Co., Ltd
Hefei Baisi New Materials Research Institute
Hefei Oulai Di Optoelectronics Technology Co., Ltd
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高真空自动循环设备（型号：BTF-1200C-HV）
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Process custom CVD system
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Product description
Product parameters
主要特点
该款设备由我公司和中国科学院新疆理化技术研究所共同研制的高真空自动循环设备，内外双热电偶控制，内热电偶制动，使用者可以设定设备循环温度点，可根据内热电偶测得的温度制动，推动炉管进出加热腔体，整个实验过程可自动控制无需人工干涉。设备310S不锈钢棒整棒掏空无焊接处理，CF法兰无氧铜密封，能达到极高的真空度。
技术参数
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额定功率
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KW
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3
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额定电压
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V
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AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz
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最高温度
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℃
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1100℃
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额定温度
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℃
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≤1050℃
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最大真空度
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Pa
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10-8torr
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| 循环温度 |
可设置
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最快升温速率
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℃/S
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30℃/S（100-1000℃）
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最快降温速率
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℃/S
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10℃/S（1000-200℃）
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加热元件
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电阻丝(进口康泰尔电阻丝)
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炉管尺寸
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mm
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不锈钢密封管Φ60×510mm、Φ20×510mm（可定制）
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加热区长度
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mm
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350
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恒温区长度
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mm
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200
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可移动范围
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mm
|
550
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炉管移动方式
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电动推进
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控温精度
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℃
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±1
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法兰
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法兰冷却方式：内水冷循环铠装法兰
法兰密封方式：贝意克专利卡箍法兰（风冷）
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标准配件
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不锈钢密封管1根，CF法兰1套，无氧铜密封圈1套，高温手套1副，坩埚钩1支
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认证标准
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 CE认证 |
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尺寸
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mm
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1190×383×580mm
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包装尺寸
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mm
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1240×430×630（木箱包装）
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净重
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Kg
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75
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毛重
|
Kg
|
110
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