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Anhui BEQ Equipment Technology Co., Ltd
Hefei Baisi New Materials Research Institute
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CVD system with high vacuum unit
tube furnace
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BTF-1200c can supply vacuum&atmosphere protection environment . It is easy to installation and dispatch.From the transparent quartz chamber,the state of sintering can be observed. The tube workpiece is crossed with chamber of resistance wire make the sintering more uniform,the difference of temperature is about 3 ℃. Pneumatic spring structure make the operator easy to open it. It is widely used in the semiconductor,nanometer,carbon fibre ,graphene.ect new material and new field. |
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Tube size |
Φ50 ×1000mm(tube size can be optional) |
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Heating element |
Fe-Cr-Alloy adopted by Mo |
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Zone length |
Heating :440mm Constant:200mm |
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Temperature controller |
*30 programmable segments for precise control of heating rate ,cooling rate and dwell time. *Built in PID automatic tune function with overheating&brocken thermocouple brocken protection and over temperature protection and alarm allows for operation without attendants. |
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Accuracy |
±1℃ |
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Suggest heating rate |
15℃/min |
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Dimension |
10800*440*590mm |
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Weight |
N:90KG |
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Gas-supply system 4 channels MFC |
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Net weight |
About 35kg |
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Dimension |
600x600x650mm |
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Connector style |
Double cutting ferrule stainless steel connector |
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Standard range(N2) |
50sccm、100sccm、200sccm(optional) |
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Accuracy |
±1.5% |
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Linearity |
±0.5~1.5% |
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Repeatability precision |
±0.2% |
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Working pressure range |
0.1~0.5 MPa |
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Max.pressure |
3MPa |
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Connector |
Φ6,1/4'' |
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Display |
LCD touch screen 3 figrues show |
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Working tem. environment |
5~45 High purity gas |
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Pressure vacuum gauge |
-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid) |
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Inter&exter Parabolic ss pipe |
Φ6 |
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Globe valve |
Φ6 |
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High vacuum unit ,vau-05 |
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Parameter
Equipments Mechnical pump
Molecular pump
1)Molecular pump controller
Composite vacuum gauge
connection pipe Use stainless steel,electric polishing,parts welding leakage rate:better than 1.0x10-9Pa.m3/s
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